半導体＆太陽電池

半導体＆太陽電池

  • 半導体や太陽電池の研究開発においては、通常基板上にデバイスが構築されます。デバイスに対して高度な品質と信頼性が要求され、デバイス構造の結晶特性と内部応力に対して詳細なデータを得ることが重要となっています。WITecの装置は、化学特性、物理特性を総合的に分析することができます。

    WITec装置は幅広い用途に使用でき、様々な観察手法が可能で観察結果から多くの試料に対する情報を得ることができます．顕微鏡システムとして可能な組み合わせは、共焦点ラマン顕微鏡、原子間力顕微鏡(AFM)、近接場光学顕微鏡(SNOM)、電子顕微鏡(SEM)があります。共焦点ラマン顕微鏡は化学情報を、AFMは表面形状／構造、硬さ／吸着力などの物理特性を、SNOMは，光学回折限界を超える高分解能光学像を得ることができます。すべてのWITec装置はお客様のご要望に応じて機能をアップグレードすることができます、

アプリケーション例

  • WITec Raman SEM GaAs
    低温成長GaAs(LT GaAs)のRISE(SEMラマン)像. ラマン像は，SEM像に重ね合わせ表示. ラマン像: 黄: 金基板; 赤: GaAs. 50 x 50 µm², 300 x 300 画素 = 90,000 スペクトラム, 積算時間34 ms/スペクトラム
  • WITec Raman StressMap Si Laser drilled hole Si solar cell
    シリコン太陽電池のレーザードリル加工穴付近の応力マップ
  • WITec Raman SEM RISE Semiconductor
    GaN層のSEMラマン像 上: SEM像; 中央:2次元共焦点ラマンイメージ; 下: 3次元共焦点ラマンイメージ
  • WITec AFM integrated circuit
    ICのAFM表面形状像
  • WITec Raman AFM wafer
    同一ウェハ試料上の別視野でのAFM像(上)とラマン像(下)

Imaging Systems for Semiconductor & Photovoltaics Research

文献資料

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