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試料の設置/走査ステージ:
試料や観察目的に応じて、マニュアル、モーター駆動、ピエゾステージを幅広く選択できます。
取り付け可能ステージ
- マニュアルステージ:精密な位置合わせが可能です。
- モータ駆動ステージ:広領域での設置、マッピング、イメージングに有用。
- ピエゾ駆動ステージ:クローズループ方式でのオペレーション。
各ステージは走査範囲を柔軟に選択できます。
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試料や観察目的に応じて、マニュアル、モーター駆動、ピエゾステージを幅広く選択できます。
取り付け可能ステージ
各ステージは走査範囲を柔軟に選択できます。